应用案例 | 穆尔电子助力半导体PVD工艺案例分享

　　穆尔电子基于分布式的理念及创新技术已应用于半导体生产中的光刻机、PVD、CMP、离子注入机、清洗设备等多款核心关键设备。融合新技术、控制生产、提高效率、降低成本，是保持半导体行业竞争力的重要手段。

　　其中，薄膜形成的PVD工艺是半导体工艺流程中的重要环节之一，它直接影响到了集成电路获取的良品率。

应用背景

　　设备中涉及400个左右的信号需要处理，包括数字量、模拟量和计数器。企业需要寻找行业中稳定且应用广泛的IO系统来连接设备。需求稳定、精确、高效和经济性的数字化通信和分布式安装解决方案。

应用挑战

　　● PVD设备对系统的持续运行和设备的稳定性要求很高，不必要的停机或者非计划的停机都有可能导致PVD设备内部腔体的损坏。

　　● 设备的IO系统需要可以在全球购买到同样的备件，达到后续全球化的愿景。

　　● 节省大量的安装时间，提高成本效益。

　　穆尔电子解决方案

　　● 集成智能电流监控(Mico)功能

　　过压，过载，短路保护

　　● 更灵活的组合应用

　　每个I / O模块具备32个通道，最多可配置488个I / O(宽度仅90cm)

　　● 最小地址需求

　　整个系统可带1024个点，只需一个IP地址

　　CUBE67&CUBE20 产品优势

　　缩小控制柜尺寸，安装快速简便，通过“自动查找故障而不是搜寻故障”，从而提高生产效率。

　　● 以客户为导向的安装理念，针对任何特定应用的完美定制解决方案。

　　● 通过降低设计和安装布线工作量，实现良好的成本效益。

　　● 通过多功能接口和众多功能模块提供极高的灵活性。(IO-Link,RS485/MOVIMOT?…)

　　● 独立的系统对全球所有通用总线系统实现了“更换总线而无需更换系统”。

　　● 通过精确和详细的诊断选项实现系统透明运行。

Emparro电源和MicoPro，用于管理24V直流的模块化系统

　　穆尔电子同时还提供了针对未来的解决方案。Emparro开关电源，不但设计紧凑，而且保证最大可靠性高效率供电。Mico Pro智能电流模组，可以实现更加智能的24V直流电源管理，借助Mico Pro能够调整当前的电流监测。即使在空间和成本有限的情况下，也能游刃有余。Mico Pro智能电流模组持续监测所有的负载和控制电流，并在正确的时间识别关键时刻状态。这保证了最佳的机器可用性，同时集成的电位分配，大大简化了开关柜的布线。

（文章来源：穆尔电子Murrelektronik）